SF6氣體抽真空及回充裝置在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，并壓縮至某一較高的壓力。這樣連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。

　　在充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設備（或鋼瓶）和連接管路進行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6充入SF6電器設備，直至達到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將SF6直接灌入鋼瓶。

　　系統中設有可靠的安全保護裝置，高壓壓力控制器安裝在SF6壓縮機排氣口，一旦排氣壓力超過限定值它會自動停止壓縮機的工作，待壓力下降后再重新啟動壓縮機；安全閥安裝在貯存容器上一旦超壓安全閥自動打開排放氣體，壓力下降后自動關閉。另外，系統中還設置了監視儀表和控制儀表共四只，其中真空計一只，安裝在裝置回收進氣口，并在真空計前裝置了V6閥門，需要觀察時打開即可；壓力表三只，分別安裝在回收進氣口、SF6壓縮機排氣口和貯存容器上。

　　系統中真空泵的進口處裝有電磁真空帶充氣閥，并與真空泵接在同一個電源上，當泵停止工作時，閥能自動將真空系統封閉，并將大氣通過泵的進口充入泵腔，從而避免泵油逆流污染真空系統。

　　總體結構，該裝置采用手推移動式，可適應室內外正常環境條件下使用。本裝置系統比較復雜，由真空泵、SF6壓縮機、貯存容器、管路、各種閥門、儀表及其他附件組成。電控箱、操作閥門和監視儀表全部集中于一側面板且有流程指示，因而使用時方便明了。